HS2048高分辨微型光譜儀

HS2048高分辨微型光譜儀

HS2048 是一款結(jié)構(gòu)小巧的微型光纖光譜儀，光譜范圍可靈活配置，核心優(yōu)勢(shì)突出 —— 高分辨率達(dá)～0.07nm，雜散光低于 0.1%，波長(zhǎng)溫漂僅～0.1pixel/℃。適配激光測(cè)量、等離子體發(fā)射光譜測(cè)量、顏色測(cè)量、吸光度測(cè)量和拉曼測(cè)量等多個(gè)工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)場(chǎng)景，是高性?xún)r(jià)比的工業(yè)級(jí)光纖光譜儀。

核心產(chǎn)品規(guī)格

關(guān)鍵配置

l    低雜散光設(shè)計(jì)：采用優(yōu)質(zhì)光學(xué)元器件、特殊消光工藝及優(yōu)化光路，雜散光低至 0.1% 以下，提升光譜純度與檢測(cè)精度；

l    超高分辨率：搭載傳統(tǒng)長(zhǎng)焦 CT 光路，配合精密光學(xué)設(shè)計(jì)與高性能光柵，分辨率可達(dá) 0.07nm；

l    低溫漂穩(wěn)定：波長(zhǎng)溫漂～0.1pixel/℃，減少環(huán)境溫度對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響；

l    紫外響應(yīng)優(yōu)異：配備紫外高靈敏檢測(cè)器，輸出低噪聲、高信噪比的準(zhǔn)確光譜信號(hào)，適配高精度分析；

l    光纖適配性強(qiáng)：可搭配多芯密排集束光纖，光纖插拔強(qiáng)度一致性≤7%；

l    低噪表現(xiàn)：CCD 量化背景噪聲≤30RMS（最短積分時(shí)間）；

l    接口完備：配置 USB2.0、RS232 通訊接口及 24PIN 交互接口，內(nèi)置專(zhuān)有 DAC 和 ADC，可實(shí)現(xiàn)配套光源的使能、強(qiáng)度控制及功率反饋；

l    采集模式多樣：支持單次、連續(xù)、軟件觸發(fā)、同步外觸發(fā)、異步復(fù)位外觸發(fā)。

詳細(xì)參數(shù)表

產(chǎn)品配置表

定制說(shuō)明

l                      光譜實(shí)際分辨率不高于標(biāo)值的 120%；

l                      光譜范圍、分辨率等參數(shù)可根據(jù)客戶(hù)實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景定制。

* 光譜實(shí)際分辨率不高于標(biāo)值的 120%

* 光譜儀可根據(jù)客戶(hù)需求定制光譜范圍、分辨率等參數(shù)

主要應(yīng)用領(lǐng)域

光譜儀測(cè)激光器線(xiàn)寬

激光器線(xiàn)寬是描述激光器性能的重要參數(shù)，是指激光器輸出的激光頻率的寬度。線(xiàn)寬越窄，激光的單色性越好，頻率穩(wěn)定性越高。我們可以使用光譜儀來(lái)測(cè)量激光器的線(xiàn)寬，適用于激光器生產(chǎn)廠(chǎng)家、科研場(chǎng)所等。

激光波長(zhǎng)測(cè)量圖譜

半導(dǎo)體刻蝕終點(diǎn)判斷

光譜儀在半導(dǎo)體刻蝕工藝中用于終點(diǎn)判斷，通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等離子體刻蝕過(guò)程中產(chǎn)生 的光譜信號(hào)變化，識(shí)別不同材料層的特征輻射峰。當(dāng)光譜信號(hào)中的特征峰強(qiáng)度或位置發(fā)生預(yù)定變化時(shí)，系統(tǒng)判定刻蝕達(dá)到終點(diǎn)。這種方法具備高精度、實(shí)時(shí)性和非接觸性。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中的多層結(jié)構(gòu)刻蝕控制。

再結(jié)晶鎢在氣體為 He、0.1 Pa、700W、250V 條件下鎢粒子的發(fā)射光譜

膜厚測(cè)量

基于光的干涉原理，當(dāng)光照射到薄膜上時(shí)，部分光會(huì)在膜的上下界面發(fā)生反射和透射，形成干涉條紋。通過(guò)測(cè)量薄膜在不同波長(zhǎng)下的反射或透射光譜，分析干涉條紋的頻率和幅度變化，可以計(jì)算出薄膜的厚度。

膜厚測(cè)量

火焰光譜檢測(cè)

在紫外 - 可見(jiàn) - 近紅外內(nèi)實(shí)現(xiàn)光強(qiáng)探測(cè)，可獲取火焰在特定平面的相對(duì)光強(qiáng)和光譜分布。

火焰光譜檢測(cè)