導(dǎo)語(yǔ)

在FTIR（傅里葉變換紅外光譜）系統(tǒng)中，如果說(shuō)光源是能量的起點(diǎn)，探測(cè)器是數(shù)據(jù)的終點(diǎn)，那么邁克爾遜干涉儀（Michelson Interferometer）就是整個(gè)系統(tǒng)的“心臟"。

而這顆心臟跳動(dòng)是否精準(zhǔn)，盡數(shù)取決于一個(gè)看似簡(jiǎn)單的光學(xué)元件——分束鏡（Beamsplitter）。

如何確保光束沒(méi)有缺陷的50/50分裂？如何消除厚度差異帶來(lái)的相位誤差？從近紅外到遠(yuǎn)紅外，材料該怎么選？今天，我們深入聊聊FTIR系統(tǒng)中的核心光學(xué)元件及其選型門(mén)道。

01

邁克爾遜干涉儀的“幕后英雄"

為什么要成對(duì)使用？

熟悉FTIR原理的朋友都知道，光束經(jīng)過(guò)分束鏡后被一分為二，分別射向固定反射鏡和移動(dòng)反射鏡。但在實(shí)際光路中，有一個(gè)細(xì)節(jié)至關(guān)重要：

光束在兩個(gè)臂中穿過(guò)的介質(zhì)厚度必須光學(xué)等程。

由于分束鏡本身有厚度，反射光束和透射光束穿過(guò)基底的次數(shù)不同（通常反射光束少穿過(guò)一次）。為了補(bǔ)償這種光程差，我們需要引入一塊與分束鏡材料、厚度、角度盡數(shù)一致的補(bǔ)償鏡（Compensator）。

圖1：邁克爾遜干涉儀作為 FTIR 光譜儀的一部分

這一對(duì)“黃金搭檔"的質(zhì)量，直接決定了干涉圖樣的對(duì)比度和光譜的信噪比。

02

寬波段覆蓋

選對(duì)材料是第壹步

FTIR技術(shù)的魅力在于其極寬的光譜覆蓋范圍。然而，沒(méi)有一種單一材料能通吃從紫外到遠(yuǎn)紅外的所有波段。

韻翔光電根據(jù)不同的光譜需求，提供多種基底材料的高精度分束鏡：

• 可見(jiàn)光/近紅外 (0.4 - 3.0 µm)： 推薦 熔融石英 (Fused Silica)，透過(guò)率高，機(jī)械性能穩(wěn)定。

• 中紅外/指紋區(qū) (0.65 - 12 µm)： CaF2 (氟化鈣) 和 BaF2 (氟化鋇) 是主力軍，特別是CaF2，在潮濕環(huán)境中比KBr更耐用。

• 寬波段中遠(yuǎn)紅外 (2 - 20 µm)： ZnSe (硒化鋅) 是當(dāng)之無(wú)愧的實(shí)力擔(dān)當(dāng)，覆蓋了絕大多數(shù)有機(jī)化合物的特征吸收峰。

• 遠(yuǎn)紅外 (50 - 1000 µm)： 推薦 高阻FZ硅 (HRFZ-Si)，利用其自然反射特性即可實(shí)現(xiàn)約50%的分束，無(wú)需復(fù)雜鍍膜。

圖2：ZnSe 分束鏡/補(bǔ)償器對(duì)的典型透射曲線

03

毫厘之差，謬以千里

嚴(yán)苛的制造規(guī)格

為了保證高分辨率，分束鏡/補(bǔ)償器對(duì)的加工精度要求較高。普通的窗口片無(wú)法勝任這項(xiàng)工作，我們關(guān)注以下核心指標(biāo)：

• 表面面型 (Surface Flatness)： 達(dá)到 λ/8 @ 633nm。較高的平整度保證了波前的完整性，避免干涉條紋畸變。

• 楔角公差 (Wedge Tolerance)： 控制在 +/- 10 弧秒以?xún)?nèi)。確保光路嚴(yán)格平行，避免重影。

• 厚度匹配 (Thickness Matching)： 分束鏡與補(bǔ)償鏡的厚度差異控制在 1 µm 級(jí)別。這是實(shí)現(xiàn)優(yōu)秀色散補(bǔ)償?shù)年P(guān)鍵。

04

鍍膜工藝的藝術(shù)

不止是分束，更是對(duì)準(zhǔn)

在實(shí)際應(yīng)用中，為了方便光路調(diào)節(jié)，我們通常會(huì)在紅外分束鏡上設(shè)計(jì)特殊的鍍膜圖案。

例如，在ZnSe或CaF2基底上，我們不僅鍍有紅外波段的50/50分束膜，還會(huì)預(yù)留或鍍上可見(jiàn)光（如633nm HeNe激光）的高反或增透區(qū)域。

典型的鍍膜分區(qū)設(shè)計(jì)：

• 中心區(qū)域： 針對(duì)工作波段（如7-14µm）的50/50分束膜。

• 邊緣/特定區(qū)域： 針對(duì)可見(jiàn)光對(duì)準(zhǔn)激光的鍍膜，幫助工程師利用可見(jiàn)光快速校準(zhǔn)不可見(jiàn)的紅外光路。

圖3：鍍膜區(qū)域示意圖

05

現(xiàn)貨推薦與定制服務(wù)

韻翔光電解決方案

針對(duì)科研和工業(yè)客戶的緊急需求，韻翔光電推出了多款標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的紅外平板分束鏡現(xiàn)貨，涵蓋CaF2和ZnSe兩種核心材質(zhì)。

熱門(mén)現(xiàn)貨規(guī)格一覽：

1. CaF2 紅外分束鏡 (1.5 - 5 µm / 2 - 8 µm)

• 尺寸： ?25.4mm / ?50.8mm

• 分光比： 50/50 ± 10%

• 優(yōu)勢(shì)： 低吸濕性，適合近中紅外分析。

• 典型型號(hào)：BSP50-SWIR-MWIR-25-2

2. ZnSe 紅外分束鏡 (7 - 14 µm)

• 尺寸： ?38.1mm / ?50.8mm

• 分光比： 50/50 ± 10%

• 優(yōu)勢(shì)： 覆蓋長(zhǎng)波紅外，CVD級(jí)材料，高損傷閾值。

• 典型型號(hào)：BSP50-ZC-50-3

所有標(biāo)準(zhǔn)品均設(shè)計(jì)為 45° 入射角，可輕松集成到現(xiàn)有的光譜儀或自建干涉系統(tǒng)中。

圖4：參考實(shí)例規(guī)格

結(jié)語(yǔ)

一臺(tái)高性能的FTIR光譜儀，離不開(kāi)高質(zhì)量的光學(xué)元件支撐。無(wú)論您是正在搭建實(shí)驗(yàn)光路的高校課題組，還是需要批量集成核心模組的儀器制造商，韻翔光電都能為您提供從現(xiàn)貨選型到精工定制的一站式解決方案。

讓光譜更純凈，讓數(shù)據(jù)更精準(zhǔn)。

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